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CMEMS技術:批量CMOS制造工藝生產基于EMS的頻率控制器件

發布時間:2014-02-28 責任編輯:mikeliu

【導讀】在過去的五年里,微機電系統(MEMS)解決方案已經穩步進入由石英晶體解決方案壟斷上百年的頻率控制和定時產品市場。MEMS技術最初源于對更小外形尺寸的追求,目前已呈現出顯著的其他優勢,包括交付時間、供應穩定性、產品可靠性、器件尺寸和性價比等,這些優勢使基于MEMS的振蕩器占有部分基于石英的頻率控制市場。

依賴傳統技術,基于石英的頻率控制設計有很多限制,例如需要更高專業化和復雜生產流程,基于陶瓷的特殊包裝(如圖1所示),需要密閉可靠的腔體以及片外匹配電容,對環境因素敏感,尤其是熱力、沖擊和振動,可能導致現場故障。

CMEMS技術:批量CMOS制造工藝生產基于EMS的頻率控制器件

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